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气体耐腐蚀

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气体耐腐蚀

发布日期:2019-04-24 00:00 来源:http://www.btfhgs.com 点击:

  工业气体同其他标准气体制备不同的是,气体配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,工业气体电子混合气体配气装置所用的管路必须是EP( 电解研磨) 级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0. 25 级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统:正压试验1. 5 倍工作压力,持压30 min; 真空氦检漏: ≤10 - 9 atm. cc /s; 系统水分: ≤ - 80 ℃; 微量氧: ≤10 × 10 - 9 ; 颗粒物测定: ≤1 EA/ft3 at 0. 1μm;≤5 EA/ft3 at 0. 05μm。为了防止产生颗粒物,装置应配有耐高压、耐腐蚀过滤器,如PALL 产0. 003 μm 不锈钢烧结或PTFE(聚四氟乙烯) 滤芯,并不定期对气体过滤器的过滤效果进行评价和测量,当过滤效果下降,应立即更换滤芯或过滤器。

  

包头工业气体


  工业气体等电子混合气常用的平衡气或称底气: N2、H2、He、Ar、O2 ; 组分气: PH3、SiH4、B2H6、Si2H6、GeH4、AsH3、TMB、BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99. 9999%,在净化器的出口设有在线H2O、O2 检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这些净化器内置气体过滤器。由于组分气体属于剧毒或有毒化学品,吹扫气、放空气、真空泵排出气不能排放大气.

  

  化学法虽然能够通过反应进行中和,由于胶管使用起来很方便,很多传统的进样管线都采用此类,但是众所周知,胶管对大部分有机气体,和含硫类的气体吸附性非常强,而且它的渗透性也很强,所以使用各类胶管来采样是不可取的,对分析数据造成很大偏差。建议根据不同的气体性质采用铜管、不锈钢管、聚四氟管,气体而对于含硫的标准气体和样品气最好采用内涂石英的不锈钢管(使用内涂石英的不锈钢管时不能对管线任意弯曲)或硫钝化不锈钢管。

  

  上述规定,都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产,几乎都是在洁净环境中进行,是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以,对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏,必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致,根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。

  

  由于标准气都要经过减压器和管线后才能取样,要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换,这种置换不是简单意义上的吹扫,目前我们基本上都选用带压力表的减压器,特别是压力表里的死体积非常大,因此需要不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上,每次将减压器里的气体排尽,然后再吹扫系统才能正确取样。带压力表的减压器置换起来很麻烦,如果不会正确置换这种减压器,不但会浪费很多气体,而且会对分析带来很大的误差,尤其对于微量氧、氮的分析,因此我们建议标准气体的分析检测用阀门最好采用不带减压器的针形微调阀。

  

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